一种匀胶机用防堵胶结构

软著证书-全自动单片匀胶显影及湿法工艺设备控制软件V1.0

软著证书-全自动甲酸回流工艺设备控制软件V1.0

一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台（实用）

一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构

一种冷热复合盘装置(2022231740214)实用新型专利证书

一种用于晶圆冷却的装置(2023200117236)实用新型专利证书